本案例位于廣州南沙某知名晶圓制造商,為客戶提供精準(zhǔn)控溫的工藝?yán)鋮s水保證晶圓產(chǎn)品在特定的工藝循環(huán)水溫度下合格生產(chǎn)。
晶圓半導(dǎo)體冷水機(jī)是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵設(shè)備,用于控制晶圓加工過(guò)程中的溫度,確保工藝穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量。以下是其主要特點(diǎn):
高精度控溫:能精確控制溫度,通常在±0.1°C以內(nèi),滿足半導(dǎo)體制造的高要求。
穩(wěn)定可靠:具備高穩(wěn)定性和可靠性,確保長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)運(yùn)行。
高效節(jié)能:采用節(jié)能設(shè)計(jì),降低運(yùn)行成本。
智能控制:配備先進(jìn)的控制系統(tǒng),支持遠(yuǎn)程監(jiān)控和自動(dòng)化操作。
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